Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Preparation and physico-chemical characterization of AISI 304 stainless steel film deposited by DC magnetron sputtering
Autoři: Tomko Samuel | Pechousek Jiri | Tuček Jiří | Kuzmann Erno | Heger Vitezslav | Dubiel Stanislaw M | Machala Libor
Rok: 2025
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Journal of Magnetism and Magnetic Materials
Název nakladatele: Elsevier B.V.
Místo vydání: Amsterdam
Strana od-do: nestránkováno
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Příprava a fyzikálně-chemická charakterizace filmu z nerezové oceli AISI 304 naneseného stejnosměrným magnetronovým naprašováním Tato studie se zabývá přípravou a fyzikálně-chemickým zkoumáním 2 μm silného filmu vyrobeného z nerezové oceli AISI 304 metodou stejnosměrného magnetronového naprašování. Během procesu depozice je pozorována fázová transformace z konvenčně nemagnetické plošně centrované kubické (FCC) fáze austenitu (gama-Fe) na převážně tělesově centrovanou kubickou (BCC) feromagnetickou monofázu (alfa-Fe). Nanesené filmy jsou charakterizovány různými experimentálními technikami, včetně rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) s energiově disperzní rentgenovou spektroskopií (EDX), rentgenové práškové difrakce (XRD), difrakce s postupným dopadem na povrch (GIXRD) a Mossbauerovy spektroskopie (MS) v transmisní i zpětně rozptýlené geometrii. Pro interpretaci Mossbauerových spekter filmu je navržen fyzikálně-chemický model založený na odlišných mikromagnetických prostředích vyvinutých v důsledku legujících prvků. Výsledky prezentované v této studii mohou podnítit další a podrobnější výzkum zaměřený na identifikaci příčin fázového přechodu z teoretického i experimentálního hlediska a pochopení základních mechanismů. Magnetronové naprašování; Nerezová ocel; Mo<spacing diaeresis>ssbauerova spektroskopie; Magnetická anizotropie; Tenké vrstvy
eng Preparation and physico-chemical characterization of AISI 304 stainless steel film deposited by DC magnetron sputtering The present study reports on the preparation and physico-chemical investigation of a 2 mu m thick film produced from AISI 304 stainless steel by DC magnetron sputtering. A phase transformation from the conventionally nonmagnetic Face-Centered Cubic (FCC) phase of austenite (gamma-Fe) nature to a predominantly Body-Centered Cubic (BCC) ferromagnetic single phase (alpha-Fe) during the deposition is observed upon the deposition process. The deposited films are characterized by various experimental techniques including Scanning Electron Microscopy (SEM) with Energy-Dispersive X-ray spectroscopy (EDX), X-Ray powder Diffraction (XRD), Grazing-Incidence X-Ray powder Diffraction (GIXRD), and Mo<spacing diaeresis>ssbauer Spectroscopy (MS) in both transmission and back-scattered geometry. For interpretation of the Mo<spacing diaeresis>ssbauer spectra of the film, a physico-chemical model based on distinct micromagnetic environments evolved due to alloying elements is suggested. The results, presented within this study, may stimulate further and detailed research in identifying the causes for the phase transition from both theoretical and experimental perspectives and understanding the underlying mechanisms. Magnetron sputtering; Stainless steel; Mo<spacing diaeresis>ssbauer spectroscopy; Magnetic anisotropy; Thin films